金属薄膜褶皱 中国科学院物理研究所 曹加树 2023-10-16 15:22:21 在硅衬底上制备多层图案化的薄膜,通过应力释放的方式可以获得金属薄膜的褶皱形貌。图片是采用奥林巴斯的光学显微镜获得的表面形貌照片,通过表面形貌的方式能够推演材料的本征力学性能。 硅衬底 光学显微镜 1438 10