微纳折纸“幻方”

中国科学院物理研究所 郑睿瑄

2023-09-21 16:58:26

本作品是使用用扫描电子显微镜拍摄的微米尺度的折纸结构。照片中的结构是在悬空的20nm的氮化硅薄膜上利用电子束沉积80nm的铝薄膜，然后利用聚焦离子束在薄膜上刻蚀出图案，再通过离子束辐照材料表面的引入应力变化来实现对二位平面的材料的折叠或者弯曲的加工方式，最终获得三维的折纸结构。通过调节离子束的剂量，可以实现对平面结构的灵活可控的形变量，以此来构造丰富的三维结构。照片中的结构，结合了双方向的弯曲加工和向上折叠的加工工艺，形成了精美的微米折纸盒子颇具美感造型的结构。